■ 装备用途：主要对单晶硅太阳能电池硅片进行单面刻蚀和清洗处理。

■ 技术特点：

适合硅片尺寸：18X/210/230mm可选；

产能:14000pcs+/h（182*182mm，双六通道）；

传动速度：4.0+m/min；

四套伺服电机，分段递增速度，可实现低带速，大产能；

装备Uptime：≥99%；

碎片率 :≤0.02%；

水膜：流量计&手动隔膜阀&气动隔膜阀控制，±3ml；

烘干：高洁净度CPVC一体成型风刀，快速烘干；

滚轮间距：工艺槽滚轮间距45mm，全轴承（加宽）覆盖。