■ 装备用途：主要对单晶硅太阳能电池用硅片进行切割损伤去除，绒面腐蚀和清洗处理，广泛用于高效晶硅及异质结电池的研发与生产。

■ 技术特点：

适合硅片尺寸：18X/210/230mm可选；

产能:18000pcs+/h（182*182mm，120pcs花篮，6篮）；

机械臂：负载＞100kgf（碳纤维轻质机械臂）；横移速度@1500mm/s；升降速度@500mm/s；

装备Uptime：≥99%；

碎片率：≤0.01%；

烘干效果：冷水慢提、低温快速烘干（400秒）；

自动化：支持MES、RFID及选配在线称重功能；支持在线换液，自洁净烘干功能。