■ 装备用途：板式PVD-1000具有操作简便、镀膜速度快、膜层质量高等优点，板式PVD-1000都能提供高效、可靠的透明导电薄膜（ITO、AZO等）镀膜解决方案。

■ 技术特点：

产能：200MW-1GW模块化可根据产能需求拓展。

电池效率：处于行业领先水准。

高沉积速率：增强等离子体密度，提高靶材溅射效率。

适用多层薄膜：可实现多层结构或复合薄膜的沉积，并可提供备用靶位。

镀膜模式：单面、及正反面不破真空同时镀膜