■ 装备用途：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是一种多功能沉积技术，可对沉积过程进行精确控制，从而生产出具有定制特性的薄膜。该技术广泛应用于半导体工业、太阳能电池、光学涂层、生物医学等领域。

■ 技术特点：

产能：200MW-1GW模块化设计可根据产能需求拓展。

电池效率：处于行业领先水准。

高沉积速率：提高生产效率。

薄膜沉积种类：按用户需求配备特气，实现多种薄膜沉积，及精确控制薄膜性质。